AZO（氧化锌铝）旋转靶材

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AZO（氧化锌铝）旋转靶材

AZO靶材是锌铝氧化物功能陶瓷材料，主要用于磁控溅射制备
AZO透明导电薄膜。以等离子体为热源将相应粉末加热到熔融
或半熔融状态并高速冲击背管表面形成致密涂层，从而制备出
高纯度、高致密度AZO靶材。

AZO靶材是锌铝氧化物功能陶瓷材料，主要用于磁控溅射制备.透明导电薄膜。以灌浆烧结工艺制备出高纯度、高致密度AZO靶材。


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