ATO(SnO2/Sb2O3)靶

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SnO2/Sb2O3=90/10wt% // Sb2O3/SnO2=20/80wt% // SnO2/Sb2O3=98/2 mol%, Sb=4at% // SnO2/Sb2O3=96/4 wt% // SnO2/Sb2O3=92/8 wt%

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