ZTO(氧化锌锡)旋转靶

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ZTO(氧化锌锡)旋转靶

成分比例:
ZnO/SnO2=2/1 mol%,ZnO/SnO=50/50wt%,ZnO/SnO=50/50wt%,ZnO/SnO2=40/60wt%
ZnO/SnO2=70/30wt%
应用领域:光学玻璃AR膜系、Low-E镀膜玻璃、工具镀膜和装饰镀膜、
特点:成膜均匀性,溅射速率高
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